Огромный вопрос.
Опишу этапы вкратце.
Очищаем поверхность пола, не знаю что именно у Вас в виде основы.
далее, первый слой гидроизоляция, можно использовать рубероид, обращайте внимание на стыке и обязательно дайте нахлёст на стены, примерно 15-ь см.
Дале, лаги, тут уже смотрите сами, наиболее распространённый вариант это брус 100-о на 150-т мм.
Древесина сухая, пропитана антисептиком с просушкой.
Следующий этап, устанавливаем лаги, работаем уровнем следим за горизонтом, шаг между лагами 50-т 60-т см,
Следующий слой, пергамин, тут важно надёжно "укутать" (обнять) лаги пергамином
, пристреливать можно скобами к торцам брусков (нужен строительный степлер).
Далее, утеплитель, вариантов масса, к примеру минеральная вата не плохой утеплитель, укладываем между лагами.
Дальше, паро-изоляция, просто будьте внимательны, плёнку так же можно зафиксировать скобами.
Следующий слой "пирога" черновая доска, естественно материал так же просушен и пропитан антисептиком.
С доской сложности нет, крепим её к лагам, правда можно было уже и фанеру укладывать на лаги, но Вы написали про доски, значит крепим и их, черновые доски укладываем с зазором, держим в голове то что следующим слоем идёт фанера.
Фанера, не советую стелить целые листы, фанеру лучше брать водостойкую.
Лист можно раскроить на несколько частей, крепление саморезами к черновой доске.
Зазор между стеной и фанерой, до 10-и мм, между листами пару мм.
Далее, грунтовка, шпаклёвка, шлифовка.
Ну и в конце финишный слой, тут вариантов много начиная от кафеля, заканчивая линолеумом.
