Можно конечно, а иногда просто необходимо (если не ровности очень большие).
Вариантов выравнивания полов масса, к примеру лаги, фанера, тут ещё можно и утеплить полы что называется по ходу.
Или сухая стяжка,
тоже не плохой вариант и главное быстрый, если бетонная стяжка набирает прочность 28-ь дней, то тут можно пользоваться полами сразу после монтажа.
Предположу что вопрос о бетонной стяжки по деревянному перекрытию.
Не лучший вариант, но сделать можно, толщина стяжки разная , тут уже надо смотреть какая конкретно Вам нужна, чем тоньше стяжка тем меньше её вес и деревянные перекрытия это не помеха.
Другое дело что технологию надо соблюдать определённую, это и гидроизоляция (качественная) и демпферная лента по периметру помещения (что бы стяжка не лопнула) и правильные пропорции.
Бетон не должен контактировать с деревом.
Так же важно учитывать толщина стяжки, опустит потолки, возникнут проблемы с уже установленными дверьми и.т.д, но всё это делается.